化学添加剤トリメチルアルミニウム

トリメチルアルミニウム（TMA）は、式AL（CH3）3の有機金属化合物です。それは非常にピロフォリックである無色の液体であり、それは自然に空気で発火することを意味します。 TMAは、主に化学蒸気堆積（CVD）プロセスの前駆体として使用され、酸化アルミニウム（AL2O3）およびその他のアルミニウム含有材料の薄膜を堆積させます。

CVDプロセスでは、TMAは通常、他のガスと混合され、高温反応器に導入されます。熱によりTMAが分解し、酸素または他の活性種と反応するアルミニウム原子を放出して、基質上に薄膜を形成します。この手法は、半導体産業で広く使用されており、断熱層、パッシブ化コーティング、およびその他の機能材料を作成します。

そのピロフォリック性のため、TMAは極度の注意を払って処理し、不活性雰囲気の下で気密容器に保存する必要があります。水と激しく反応し、可燃性ガスを放出し、爆発を引き起こす可能性があります。 TMAと協力して事故のリスクを最小限に抑えるためには、特殊な機器と安全プロトコルが必要です。

全体として、トリメチルアルミニウムは、材料科学および半導体製造の分野で重要な化合物であり、高度な電子デバイスとコーティングの生産を可能にします。