テトラメチルエチーラミノハフニウム

テトラ（メチルエチルアミノ）ハフニウムは、式HF（Nmeet）4の化合物であり、Nmeetはメチルエチルアミノリガンドを表しています。これは、遷移金属要素であるハフニウムの配位化合物です。この化合物は、主に、マイクロエレクトロニクスや光学を含むさまざまな用途向けのハフニウム含有薄膜の堆積の前駆体として使用されます。

テトラ（メチルエチルアミノ）ハフニウムは、室温で揮発性液体であり、黄色です。それは非常に反応性があり、空気と水分に敏感であり、不活性条件下で慎重な取り扱いと保管が必要です。この化合物は、テトラヒドロフランなどの溶媒中の四塩化ハフニウムとメチルエチルアミンと反応することにより合成できます。

薄膜沈着プロセスでは、テトラ（メチルエチルアミノ）ハフニウムは通常、蒸気期の前駆体として使用されます。さまざまな基質にハフニウムを含むフィルムを堆積させるために、化学蒸気堆積（CVD）または原子層堆積（ALD）技術で熱的に蒸発したり、使用したりできます。これらのフィルムは、ミクロエレクトロニクスのゲート誘電体として、および光学コーティングやその他の用途で使用できます。

全体として、テトラ（メチルエチルアミノ）ハフニウムは、材料科学技術の分野で重要な化合物であり、さまざまな技術用途向けの制御特性を備えたハフニウムベースの薄膜の生産を可能にします。